在芯片制造過程中,無塵車間的原料接收區是保障生產質量的第一道防線。本文合景凈化工程公司將詳細闡述芯片廠房無塵車間裝修原料接收區的設計要點。
一、設計原則
原料接收區作為無塵車間的入口,必須滿足相應的潔凈度要求。根據芯片制造工藝的需求,通常需要達到百級或千級的潔凈度標準。合理的氣流組織可以有效控制污染物的擴散,保證原料接收區的潔凈度。通常采用上送下回的氣流組織形式,并設置高效過濾器以過濾空氣中的顆粒物。為了避免人員活動對原料造成污染,原料接收區應設置獨立的人流和物流通道,并采取相應的隔離措施。
二、功能分區設計
芯片廠房無塵車間裝修合理的功能分區是原料接收區高效運作的基礎,一般可劃分為以下幾個關鍵區域。
卸貨與初步檢查區需靠近車間外部的卸貨平臺,設置防雨、防塵的卸貨棚,地面采用耐磨、防滑、易清潔的環氧樹脂地坪,便于叉車等搬運設備作業。
凈化處理區是接收區的核心區域,用于去除原料外包裝的污染物。根據原料特性不同,可設置真空清潔設備、高壓風淋裝置或專用的外包裝清潔機。
暫存區用于短期存放經過凈化處理的原料,需根據原料的存儲條件進行設計。對于有恒溫恒濕要求的原料,暫存區應配備空調和除濕設備,溫度控制在20-24℃,相對濕度控制在45%-55%。
緩沖區是連接暫存區與車間內部的過渡空間,通常設置氣閘室或傳遞窗。氣閘室可實現人員和物料的雙向傳遞,通過氣壓控制防止污染物擴散;傳遞窗則用于小型物料的傳遞,具備紫外線消毒功能,確保物料在傳遞過程中不受污染。
三、關鍵要素
根據潔凈度要求選擇合適的過濾器和風機,并合理布置送風口和回風口。地面和墻面材料應選擇防塵、易清潔、耐腐蝕的材料。照明系統應選擇無塵燈具,并合理布置燈具位置,以提供足夠的照明強度和均勻的照明效果。物流設備應選擇防塵、易清潔的材料,并合理布置以減少人員與原料的直接接觸。
四、細節設計要點
芯片廠房無塵車間裝修密封與隔離方面,所有門窗、墻壁縫隙需進行密封處理,防止外界空氣滲入;不同區域之間的隔斷采用不銹鋼或鋼化玻璃材質,既保證隔斷的堅固性和潔凈度,又便于觀察內部作業情況。
清潔與維護便利性設計方面,地面與墻面的交界處采用圓弧角處理,避免衛生死角;凈化處理區和暫存區的設備布局應預留足夠的清潔通道,便于日常清潔和設備維護。
照明與標識設計方面,各區域的照明亮度應達到300-500勒克斯,采用防塵、防水的潔凈燈具,避免眩光影響操作;區域標識應清晰明確,采用耐腐蝕的材料制作,確保長期清晰可見。
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