集成電路無塵車間的裝修施工需要嚴格控制潔凈度、靜電控制和溫濕度等要求。以下是合景凈化工程公司整理的集成電路無塵車間裝修施工的步驟:
首先,根據集成電路行業的要求和潔凈度等級,進行車間的設計規劃。確定潔凈區域、非潔凈區域和輔助區域的布局,并考慮空氣流動、進出控制和設備安裝等因素。進行車間的結構施工,包括墻體、天花板和地板的建設。選擇符合潔凈要求的材料,如潔凈型墻面板、天花板板材和導電地板等。確保施工質量,防止塵埃和顆粒的產生和積聚。
其次,需要安裝潔凈車間的空調系統,包括空氣供應和排風系統,安裝高效過濾器,如HEPA和ULPA過濾器。采取靜電控制措施,安裝溫濕度控制系統,監測和調節車間內的溫度和濕度水平。
最后,需要設計適當的進出控制措施,如潔凈室門、空氣淋浴和人員通道等。減少外部顆粒和污染物的進入,并確保人員進出車間時的潔凈度要求。
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