2025-10-30
半導體潔凈室作為高精度制造環境,其中空調系統是保障生產工藝環境的核心基礎設施,需實現溫濕度精密控制、潔凈度穩定維持、壓差精確調節及能耗有效管控等多重目標。系統設計應遵循《電子工業潔凈廠房設計規范》(GB 50472)和SEMI標準,同時滿足半導體工藝設備的特殊環境需求。
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半導體潔凈室
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